現(xiàn)在很多傳感器都向著微型化發(fā)展，微型傳感器更方便我們安裝，但是我們?cè)谘兄莆⑿蛡鞲衅鞯臅r(shí)候如何確保他/她的精度是一個(gè)很大的難題，以壓力傳感器為例，很多地方都需要微型壓力傳感器，但同時(shí)也需要高精度的壓力傳感器，生產(chǎn)出高精度微型壓力傳感器顯得很重要。

    微型壓力傳感器采用壓電單晶片結(jié)構(gòu)，并內(nèi)置前置放大器，通過放大器放大微弱信號(hào)并實(shí)現(xiàn)阻抗變換，從而使傳感器具有量程小、靈敏度高、抗干擾性好等特點(diǎn)。這類傳感器已廣泛用于脈搏、管壁壓力波動(dòng)等微小信號(hào)的檢測(cè)。但與此同時(shí)，對(duì)于微壓傳感器精準(zhǔn)度的檢驗(yàn)這一技術(shù)難題，就迫切需要簡(jiǎn)便的測(cè)量裝置測(cè)量該類型傳感器的性能。

    對(duì)于微型壓力傳感器來說，靈敏度和線性度是微型壓力傳感器最重要的兩個(gè)性能指標(biāo)。為了制作出能夠滿足實(shí)際應(yīng)用需求的傳感器，必需探索出一種微型壓力傳感器靈敏度和線性度的有效仿真方法。實(shí)際的研究中，發(fā)現(xiàn)一種基于對(duì)壓阻式壓力傳感器薄膜表面應(yīng)力的有限元分析(FEA)和路徑積分的仿真方法。通過這一方法實(shí)現(xiàn)了在滿量程范圍內(nèi)不同壓力值下對(duì)傳感器電壓輸出值的精確估計(jì)，在此基礎(chǔ)上對(duì)壓力傳感器的靈敏度和線性度進(jìn)行了有效仿真。

    為了確保微型壓力傳感器精度，我們?nèi)缧鑿母鱾€(gè)角度進(jìn)行優(yōu)化，除了上面介紹的以為。在結(jié)構(gòu)上，綜合梁膜結(jié)構(gòu)與平膜雙島結(jié)構(gòu)的優(yōu)點(diǎn)，采用雙島-梁結(jié)構(gòu)等等。